Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів
2

Effects of slurry filter size on the chemical mechanical polishing (CMP) defect density

Yong-Jin Seo, Sang-Yong Kim, Yeon-Ok Choi, Yong-Taek Oh, Woo-Sun Lee
Журнал:
Materials Letters
Рік:
2004
Мова:
english
Файл:
PDF, 626 KB
english, 2004
3

Effects of STI-fill thickness on the CMP process defects

Yong-Jin Seo, Gi-Uk Kim, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2004
Мова:
english
Файл:
PDF, 406 KB
english, 2004
4

Optimization of pre-metal Dielectric (PMD) materials

Yong-Jin Seo, Sang-Yong Kim, Woo-Sun Lee
Журнал:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics
Рік:
2001
Мова:
english
Файл:
PDF, 666 KB
english, 2001
6

Prevention of plasma-induced damage during HDP–CVD deposition

Sang-Yong Kim, Woo-Sun Lee, Yong-Jin Seo
Журнал:
Journal of Materials Processing Technology
Рік:
2004
Мова:
english
Файл:
PDF, 842 KB
english, 2004
14

Temperature-dependent ID-VD characteristics and analytical model for a-Si:H thin film transistors

Woo-Sun Lee, Gerold W. Neudeck, Min-Koo Han
Журнал:
Solid-State Electronics
Рік:
1994
Мова:
english
Файл:
PDF, 229 KB
english, 1994
15

Chemical mechanical polishing of Ba0.6Sr0.4TiO3 film prepared by sol–gel method

Yong-Jin Seo, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2004
Мова:
english
Файл:
PDF, 327 KB
english, 2004
17

Effects of oxidant additives for exact selectivity control of W- and Ti-CMP process

Yong-Jin Seo, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2005
Мова:
english
Файл:
PDF, 2.69 MB
english, 2005
20

Improvement of TEOS-chemical mechanical polishing performance by control of slurry temperature

Nam-Hoon Kim, Pil-Ju Ko, Yong-Jin Seo, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 360 KB
english, 2006
25

A study on the improved performances of OLED using CMP process parameters determined by DOE method

Yong-Jin Seo, Gwon-Woo Choi, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.25 MB
english, 2008
26

Surface planarization of ZnO thin film for optoelectronic applications

Woo-Sun Lee, Gwon-Woo Choi, Yong-Jin Seo
Журнал:
Microelectronics Journal
Рік:
2009
Мова:
english
Файл:
PDF, 543 KB
english, 2009
31

Effects of different oxidizers on the W-CMP performance

Yong-Jin Seo, Woo-Sun Lee
Журнал:
Materials Science and Engineering: B
Рік:
2005
Мова:
english
Файл:
PDF, 262 KB
english, 2005
32

Application of tungsten slurry for copper-chemical mechanical polishing

Yong-Jin Seo, Woo-Sun Lee
Журнал:
Materials Science and Engineering: B
Рік:
2005
Мова:
english
Файл:
PDF, 334 KB
english, 2005
37

Reduction of process defects using a modified set-up for chemical mechanical polishing equipment

Yong-Jin Seo, Sang-Yong Kim, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2003
Мова:
english
Файл:
PDF, 1.01 MB
english, 2003
39

CMP properties and fabrication of OLED using MEH-PPV

Woo-Sun Lee, Gwon-Woo Choi, Yong-Jin Seo
Журнал:
physica status solidi (c)
Рік:
2008
Мова:
english
Файл:
PDF, 268 KB
english, 2008
40

Optical properties of GaSe:Er3+single crystals

Woo-Sun Lee, Nam-Oh Kim, Byeung-In Kim
Журнал:
Journal of Materials Science Letters
Рік:
1996
Мова:
english
Файл:
PDF, 184 KB
english, 1996
41

Nested balancedN-ary designs

Sudhir Gupta, Woo-Sun Lee, Sanpei Kageyama
Журнал:
Metrika
Рік:
1995
Мова:
english
Файл:
PDF, 339 KB
english, 1995
43

Chemical mechanical polishing of PZT thin films for FRAM applications

Yong-Jin Seo, Jin-Seong Park, Woo-Sun Lee
Журнал:
Microelectronic Engineering
Рік:
2006
Мова:
english
Файл:
PDF, 447 KB
english, 2006